运入固定设备的机械
如有可能，大型设备应该临时拆卸为能安全进入洁净室的组件，使洁净车间设备运入过程的风险降低。因为这些大型设备在装设搬运中如果与洁净室围护结构表面接触，可能发生磨损、撞伤并产生污染。
所有用于大设备、组件的提升、牵引或定位的专用设备在进入洁净室前必须彻底清洁，这类设备多数不是专为洁净厂房使用而设计、制造的，应彻底的检验有无膜屑、表面剥落状况或不宜进入洁净室的材料。
通常宜用与洁净厂房级别相适应的塑料薄膜或袋子包裹或密封这些设备的外表面。设备如有橡胶轮，宜用洁净车间专用塑胶带包严，以免在地面上遗留下橡胶或塑料微粒。